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行業(yè)產(chǎn)品

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浚和（上海）儀器有限公司


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YAMATO等離子灰化機(jī)PR210C/300/301 經(jīng)濟(jì)型、高頻等離子

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時(shí)間：2025-05-16 09:24:57瀏覽次數(shù)：15次

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產(chǎn)品簡介

詳細(xì)介紹

從樣品表面改質(zhì)到清洗的小型臺(tái)式等離子清洗機(jī)。

用途：
? 高分子材料表面的官能基附與→粘合性、密著性提高。通過氧化反應(yīng)，在表面生產(chǎn)-OH，>C=O，-COOH等官能基（微量的水分及二氧化碳影響）。
同樣在氮?dú)獾入x子體中，氮原子被吸收在表面中，生成-NH2等官能基。
? 晶硅圓蝕刻。
? 材料表面改性（金屬、聚合物、薄膜、陶瓷等）。
? 石棉預(yù)處理（膜過濾灰化）。
? 從電子設(shè)備到生化市場。
? 低溫灰化（高分子材料、煤炭、食品等）。
? 使用玻璃和PDMS板粘貼PDMS芯片。
? 表面有機(jī)物去除。

特點(diǎn)：
? RF為200W的高性能輸出類型（PR200）。
? 由于是尺寸緊湊的臺(tái)式機(jī)，很小的位置都可以安裝。
? 同步，自動(dòng)調(diào)諧，操作簡單（PR200）。
? 等離子體反應(yīng)器（灰化設(shè)備）（PR200）。
? 同步，自動(dòng)調(diào)諧（PR200）。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：
●等離子清洗機(jī)清洗效果好，清洗效率高，功率大，應(yīng)用范圍廣。
●對(duì)清洗樣品，沒有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求。
●等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達(dá)到常溫處理。
●高效的特制電極，是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。
●特制電極和托盤結(jié)構(gòu)，可保證樣品可得到全面有效的清洗。


規(guī)格：

型號(hào)

PR200

PR301

方式

DP模式、圓柱形腔體

性能

發(fā)生器功率：

0-200W

0-300W

發(fā)生器頻率：

射頻RF13.56Mhz

發(fā)生器匹配方式：

自動(dòng)匹配（Auto matching)

手動(dòng)匹配（manul）

 

構(gòu)成

腔體材質(zhì)：

高硼硅玻璃

腔體內(nèi)尺寸：

φ100×L160mm

φ118×L160mm

反應(yīng)氣體：

一路工藝氣體，可支持氧氣、氬氣、氮?dú)獾确歉g性氣體。

控制方式：

半自動(dòng)控制

真空度顯示：

數(shù)字式皮拉尼傳感器，實(shí)時(shí)顯示腔體內(nèi)真空度。

模擬式壓力表

配管材質(zhì)：

SUS不銹鋼以及特氟龍

門：

                                            鉸鏈門

外形尺寸：

W350×D400×H500mm

W438×D520×H630mm

真空泵抽速：

4m3/hour

電源規(guī)格：

                                        AC220V  10A

重量：

  約25kg

   約34kg

附屬品

 

真空管件一套、真空轉(zhuǎn)接接頭一套、試料托盤一枚。




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