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北京市卓川電子科技有限公司
精心設計制造的軟著陸裝置,結合了設備商應用的優勢,運行穩定可靠,SiC槳實現免清洗。沒有槳的遮擋,工藝效果更有保障管式高溫擴散爐
管式高溫擴散爐 高溫擴散爐 擴散爐 | |||
型號 | BY.90-DS-300A | ||
簡介 | 詳細描述:
精心設計制造的軟著陸裝置,結合了設備商應用的優勢,運行穩定可靠,SiC槳實現免清洗。沒有槳的遮擋,工藝效果更有保障
國內*的串級溫度控制方法,實現5段自動適時恒溫區,確保工藝片分分秒秒處于真正的恒溫區,同時爐管內工藝反應區域爐溫能自動快速響應與恢復,zui大限度地保障工藝片需要的準確溫度,可有效地提高工藝片的均勻性。
工藝片在石英管內實現真正意義上的閉管擴散。
觸控平板工業計算機控制系統,功能齊全,數字化管理各控制部件,遠離干擾,性能更加穩定可靠。
數字式MFC的運用,消除了模擬變量傳輸的干擾,非常有益于工藝生產的重復穩定控制,通過配合串級溫度控制,可*地提高工藝批次間的品質。
良好的隔熱設計減少了熱量的損失并減少了溫度恢復時間,保證裝載區無污染,使操作人員遠離偏磷酸的危害
POCl3 殘留物冷凝在石英管容器中,便于安全地處理。 減少了90%以上的有毒氣體,增加了操作人員的安全性。
單臺四管(三管可選),造型緊湊,*地利用了潔凈廠房的空間,減少占地面積。 |
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