無油高真空系統，適合于高分辨率FE-SEM觀察前樣品鍍膜機TEM/EDX噴涂要求；也可應用于制備多層膜樣品
*功能：金屬濺射鍍膜/輝光放電/蝕刻（樣品清潔）/碳絲蒸發鍍膜/碳棒蒸發鍍膜/金屬熱阻蒸發鍍膜/加裝液氮冷臺（適配EM VCT100)
*帶有金屬靶檔板，適用于特殊濺射靶材的預濺射，確保鍍膜純度
*可選配石英膜厚監控器，可程序化控制膜厚，并反饋鍍膜儀
*樣品室尺寸：標配?106mm,選配?205mm（可容納wafer 152mm/6"圓形或127mm/5"方形）
*操作簡單，帶有LED指示，機身印有操作說明
上海納騰儀器有限公司是一家專注于為微納米科學領域提供綜合性解決方案，為
全國各大高校、科研院所及企事業單位提供*的微納米科學儀器。
目前上海納騰已成為國內少數幾家專業提供微納米科學儀器的企業，在微納加工儀器，微納表征儀器，微納儀器耗材，微納加工測試等相關領域，擁有一支經驗豐富、技術過硬的團隊。能夠出色地完成售中、售后的服務。
徠卡高真空濺射鍍膜儀 Leica EM SCD500 產品信息
