国产一区二区三区97在线,国产精品免费看久久久,黄色影视网址在线播放观看视频,日韩AV女优在线观看地址

移動版

當前位置：智慧城市網(wǎng)資訊中心企業(yè)關注

新發(fā)產品更多
完全不同于ASML！中國成功研發(fā)全新DUV光刻
2025年03月27日 17:18:37來源：智能制造網(wǎng)點擊量：30374
導讀中國科學院研發(fā)的全固態(tài)DUV光源采用固態(tài)激光晶體(如非線性光學晶體)結合倍頻技術，將紅外激光轉換為紫外光。相比傳統(tǒng)光源，全固態(tài)光源具有體積小、效率高、壽命長、可控性好等特點，更適合工業(yè)化和精密應用。
　　【智慧城市網(wǎng) 企業(yè)關注】據(jù)國際光電工程學會(SPIE)消息，近日中國科學院研究人員成功研發(fā)突破性的固態(tài)深紫外(DUV)激光，能發(fā)射193nm的相干光，與目前主流的DUV曝光波長一致，能將半導體工藝推進至3nm。值得注意的是，該波長目前被用于半導體曝光技術！
 
　　中國科學院成功的研發(fā)全固態(tài)DUV光源技術是中國在高端光學和半導體領域的一項重要突破，具有重要的科學意義和產業(yè)價值。以下是對這一進展的詳細分析：
 
　　一、技術背景與核心突破
 
　　?DUV光源的定義：深紫外光(DUV)波長范圍通常在100-200納米，傳統(tǒng)DUV光源多依賴氣體放電燈(如準分子激光器)，但存在體積大、能耗高、穩(wěn)定性差等缺陷。
 
　　?全固態(tài)化的優(yōu)勢：中國科學院研發(fā)的全固態(tài)DUV光源采用固態(tài)激光晶體(如非線性光學晶體)結合倍頻技術，將紅外激光轉換為紫外光。相比傳統(tǒng)光源，全固態(tài)光源具有體積小、效率高、壽命長、可控性好等特點，更適合工業(yè)化和精密應用。
 
　　?二、技術難點與創(chuàng)新點
 
　　與目前主流的DUV光刻機采用的氟化氬(ArF)準分子激光技術相比，中國科學院的全固態(tài)DUV激光技術具有明顯優(yōu)勢。
 
　　?材料突破：研發(fā)團隊可能攻克了高損傷閾值、高非線性轉換效率的激光晶體材料(如KBBF、CLBO等)，解決了DUV波段倍頻過程中的光學損耗和熱管理問題。
 
　　?系統(tǒng)集成：通過優(yōu)化諧振腔設計和激光脈沖控制技術，實現(xiàn)了高功率、窄線寬的DUV輸出，滿足精密光刻或科研需求。
 
　　?國產化替代：此前國內DUV光源依賴進口(如日本Gigaphoton或美國Coherent)，全固態(tài)技術的突破為國產光刻機核心部件提供了自主可控的解決方案。
 
　　?三、應用領域與產業(yè)意義
 
　　?半導體光刻：DUV光刻是制造28nm及以上制程芯片的關鍵設備(如ASML的DUV光刻機)。全固態(tài)光源的研發(fā)雖不等同于EUV(極紫外)光刻突破，但可為國內成熟制程芯片生產提供穩(wěn)定光源，緩解供應鏈“卡脖子”問題。
 
　　?其他領域：
 
　　?殺菌消毒：DUV波段對微生物DNA/RNA有強破壞作用，可應用于醫(yī)療或水處理；
 
　　?激光加工：用于精密微納加工(如MEMS器件、光伏電池)；
 
　　?科研儀器：支撐前沿物理實驗或新材料研發(fā)。
 
　　四、對國內半導體產業(yè)的戰(zhàn)略價值
 
　　?突破封鎖：在ASML無法對華出口EUV光刻機、美國限制DUV設備的情況下，全固態(tài)DUV光源技術為國內光刻機研發(fā)提供了關鍵技術支持，助力實現(xiàn)“去美化”供應鏈。
 
　　?產業(yè)鏈協(xié)同：該技術與國內激光晶體、光學鍍膜、精密加工等產業(yè)形成聯(lián)動，推動國產高端裝備自主化進程。
 
　　?五、挑戰(zhàn)與未來展望
 
　　?技術迭代：需進一步提升光源功率和穩(wěn)定性，以滿足更先進制程(如7nm以下)的需求。
 
　　?配套生態(tài)：光刻機是系統(tǒng)工程，需整合光源、物鏡、控制系統(tǒng)等核心技術，中國科學院與上海微電子等企業(yè)的協(xié)同至關重要。
 
　　?國際競爭：日本、美國在DUV光源領域仍有技術積累，需加快產業(yè)化落地以搶占市場。
 
　　六、?總結
 
　　中國科學院全固態(tài)DUV光源技術的突破，標志著中國在高端光學器件領域邁出關鍵一步，短期內可支撐成熟制程芯片制造，長期則為EUV光源研發(fā)積累經驗。
 
　　這一成果不僅為半導體產業(yè)發(fā)展提供了新的可能性，與此同時還增強了國內半導體產業(yè)鏈的安全性，也為全球光電子技術發(fā)展提供了新思路。未來需持續(xù)投入研發(fā)，加速技術轉化，推動國產光刻機從“可用”向“好用”邁進。
 
　　以上內容由Kimi、元寶生成，智能制造網(wǎng)整合。在任何情況下，本文中的信息或表述的意見，均不構成對任何人的投資建議。
關鍵詞 DUV光刻全固態(tài)DUV光源技術半導體工藝
相關閱讀更多
版權與免責聲明：

凡本網(wǎng)注明“來源：智慧城市網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡有限公司-智慧城市網(wǎng)合法擁有版權或有權使用的作品，未經本網(wǎng)授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網(wǎng)授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：智慧城市網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關法律責任。

本網(wǎng)轉載并注明自其它來源（非智慧城市網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點或和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。

如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關權利。

正在閱讀：完全不同于ASML！中國成功研發(fā)全新DUV光刻
我要投稿
  • 投稿請發(fā)送郵件至：(郵件標題請備注“投稿”）afzhan@foxmail.com
  • 聯(lián)系電話0571-87756384
智慧城市行業(yè)“互聯(lián)網(wǎng)+”服務平臺
智慧城市網(wǎng)APP

功能豐富 實時交流

智慧城市網(wǎng)小程序

訂閱獲取更多服務

微信公眾號

關注我們

抖音

智慧城市網(wǎng)

抖音號：afzhan

打開抖音 搜索頁掃一掃
i

視頻號

AF智慧城市網(wǎng)

視頻號ID：sphF7DOyrojJnp8

打開微信掃碼關注視頻號

小紅書

智慧城市

小紅書ID：2537047074

打開小紅書 掃一掃關注
反饋